唐、宋，名叠溪堡。
清为重要关隘。
道光元年（1821年），建场。
光绪十年（1884年），属安县北乡一甲。
宣统二年（1910年），属浮泉乡。
民国十七年（1928年），属安县第十六区。
民国二十四年（1935年），属安县一辖区。
1950年，设乡。
1952年，划归北川县。
1958年6月，划归安县；同年10月，改为茶坪公社。
1983年，公社改乡。
2002年8月，改为千佛镇。
2016年4月，国务院下发《国务院关于同意四川省调整绵阳市部分行政区划的批复》：同意撤销安县，设立绵阳市安州区，以原安县的行政区域为安州区的行政区域，千佛镇改属安州区。