春秋为晋地。
西汉于此置下博县，属信都郡。
东汉属乐成国。
西晋属安平国；隋代今县为下博、衡水县地。
开皇十六年（596）始于安平县置深州。
唐贞观元年(627）下博县属深州。
不久徙州治于陆泽（今旧州村）。
宋雍熙四年（987）下博县改名静安县。
同年，深州亦移治静安（今贾城西村东）。
金元因之。
明洪武二年（1369）静安县省入深州。
永乐十年（1412）州城毁于洪水，遂徙治于吴家庄（即今县城），属真定府。
清雍正二年（1724）深州升为直隶州。
1913年深州降为深县。
1928年属河北省。
1937年属河北省第九督察区。
1938年属冀中区一专区。
1945年属冀中区六专区。
1949年属河北省衡水专区。
1952年改属石家庄专区。
1960年改属石家庄市。
1961年还属石家庄专区。
1962年还属衡水专区。
1967年属衡水地区。
1994年撤销深县，设立深州市（县级）。
1996年改属衡水市至今。